三氯氫硅（化學式SiHCl?）是硅化合物家族中至關重要的中間體材料，廣泛應用于半導體和光伏產業(yè)。這種無色透明液體具有刺激性氣味，在潮濕空氣中極易水解產生氯化氫煙霧，因此儲存時需要嚴格隔絕水分。其分子結構由一個硅原子與三個氯原子及一個氫原子組成，這種特殊構型使其成為制備高純度多晶硅的核心原料。
在工業(yè)生產中，三氯氫硅主要通過硅粉與氯化氫在流化床反應器（溫度300-350℃）中合成，反應過程會同步生成四氯化硅等副產物。需要特別關注的是其精餾提純環(huán)節(jié)，通常采用多級連續(xù)精餾塔（壓力0.3-0.5MPa）來獲得電子級純度（≥99.9999%）。這種高純產品在西門子法生產多晶硅時，會通過化學氣相沉積在發(fā)熱體表面分解，形成光伏行業(yè)所需的高純硅棒。
從安全角度來看，三氯氫硅屬于第8類危險化學品，其閃點-18℃且遇明火極易燃燒，儲存時必須使用氮氣密封的保護系統(tǒng)。操作人員需配備防腐蝕裝備，因為其蒸汽不僅具有強腐蝕性，遇水反應產生的鹽酸霧還會嚴重刺激呼吸道?，F代工廠普遍采用DCS自動化控制系統(tǒng)來減少人工接觸，同時配備噴淋吸收塔（處理能力≥2000m3/h）等應急設施。
在光伏產業(yè)鏈中，三氯氫硅的成本占比高達20%-30%，其質量直接影響太陽能電池片的轉換效率。近年來的技術突破主要體現在閉路循環(huán)工藝上，通過將副產物四氯化硅轉化為原料，使得單耗從最初的1.5kg/kg-Si降至1.2kg/kg-Si以下。隨著N型單晶硅片的普及，對三氯氫硅中硼、磷等雜質含量的要求已提升至ppb級（＜0.1μg/g），這促使生產企業(yè)持續(xù)改進純化技術。
