單晶硅片作為半導(dǎo)體和光伏行業(yè)的基礎(chǔ)材料,是由單一晶格結(jié)構(gòu)硅錠切割而成的圓形或方形薄片(厚度通常150-200μm)。其原子排列呈現(xiàn)完美有序性,區(qū)別于多晶硅片的無(wú)序晶界結(jié)構(gòu),這種特性使得載流子遷移率顯著提升(電子遷移率≥1500cm2/V·s),在太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換效率(實(shí)驗(yàn)室最高26.8%)和集成電路性能方面具有決定性優(yōu)勢(shì)。
生產(chǎn)過(guò)程中需要重點(diǎn)關(guān)注直拉法(CZ法)晶體生長(zhǎng)工藝,特別是通過(guò)石英坩堝熔融高純硅料(純度99.9999%以上),在特定溫度梯度下以毫米級(jí)速度提拉單晶硅棒。后續(xù)經(jīng)過(guò)金剛線切割(線徑0.1mm)、研磨拋光等20余道工序,最終形成表面粗糙度<1nm的鏡面硅片。值得注意的是,8英寸(200mm)和12英寸(300mm)大尺寸硅片已成為當(dāng)前主流規(guī)格,其邊際成本可降低30%以上。
在光伏應(yīng)用領(lǐng)域,P型(摻硼)和N型(摻磷)單晶硅片存在顯著差異。前者憑借成熟的PERC技術(shù)占據(jù)80%市場(chǎng)份額,而后者如TOPCon和HJT電池采用的N型硅片,由于更低的光致衰減(LID<1%)和更高少子壽命(>1000μs),正逐步成為高效組件(>24%)的首選基底材料。
半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片對(duì)缺陷密度的控制更為嚴(yán)苛,要求氧化誘生層錯(cuò)(OISF)<10個(gè)/cm2,且需通過(guò)外延生長(zhǎng)工藝形成納米級(jí)超薄活性層。隨著5nm及以下制程芯片的普及,采用SOI(絕緣體上硅)結(jié)構(gòu)的特殊硅片能有效降低寄生電容,使晶體管開(kāi)關(guān)速度提升40%以上。